超纯水制取
制取工艺
超纯水制取采用膜法水处理工艺(超滤+反渗透)对原水进行预脱盐后再经过深度化学除盐和精处理，产水达到《中国国家电子超纯水规格 GB/T1146.1-1997》二级标准以上。
工艺优点
该工艺具有产水水质稳定、自动化程度高、操作简单等特点。
应用行业
半导体、集成电路、电子元器件、单晶硅、光伏等行业。
典型工程
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序号 |
用户名称 |
工艺 |
产水量 |
M /cm |
应用行业 |
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1 |
英飞凌科技(无锡)有限公司 |
RO+DI |
16 |
18 |
电子超纯水 |
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2 |
浙江万向硅峰电子集团公司 |
UF+二级RO+EDI |
40 |
16.5 |
电子超纯水 |
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3 |
杭州仕兰集成电路有限公司 |
UF+RO+DI |
30 |
16.5 |
电子超纯水 |
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4 |
浙江向日葵光能科技有限公司 |
UF+RO+DI |
50 |
15 |
光伏高纯水 |
说明：RO－反渗透；NF－纳滤；UF－超滤；DI－离子交换 ；EDI—连续电除盐
